真空泵及其類型

    一個容器放在自然環(huán)境中.如果不改變其內(nèi)部氣體壓強(qiáng)，那么容器內(nèi)外部的氣體壓力達(dá)到平衡狀態(tài)，在數(shù)值上等于大氣壓。要使容器內(nèi)部達(dá)到真空狀態(tài)，就必須排出容器內(nèi)部的氣體，使內(nèi)部氣體壓強(qiáng)小于外部大氣壓。利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法，把氣體從容器中排出而獲得真空的設(shè)備稱為真空泵。真空泵按其工作原理的不同分為壓縮型(變?nèi)菪?和吸附型兩類。壓縮型真空泵工作原理是將泵的入口端的氣體壓縮到出口端，并排出至泵外。常見壓縮型真空泵有:利用膨脹一壓縮一排出過程的旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵，利用渦輪葉片排除氣體的渦輪分子泵等。吸附型真空泵的工作原理是將氣體吸附在泵體內(nèi)，已達(dá)到降低氣體壓強(qiáng)的目的。常見吸附型真空泵有:利用電離吸氣作用的離子泵，利用物理或化學(xué)吸附作用的吸附泵、吸氣泵和低溫冷凝泵等。吸附型真空泵與壓縮型真空泵最大不同是，吸附型真空泵并不是將氣體排出泵外，而是貯存在泵內(nèi)，前者所能達(dá)到的真空度比后者高，但抽速小，適用容器也較小。真空電阻爐采用的是壓縮型真空泵，例如機(jī)械泵、羅茨泵以及擴(kuò)散泵等。

    各類真空泵都有自己的工作范圍，有的泵可以直接從大氣狀態(tài)下開始工作，如機(jī)械泵、吸附泵，有些泵就不能直接從大氣狀態(tài)下開始工作，如擴(kuò)散泵、分子泵、離子泵等，入口真空度必須達(dá)到一定數(shù)值時(shí)，才能開始工作。

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